电子工业的数字化和微型化是近年来的重要发展趋势，也是微电子元器件创新的主要动力之一。因此，在微纳米尺度对元器件和材料的电学性能进行测量,也成为了元器件研究、工艺、以及失效分析的重要手段。例如: 介电层在纳米范围内的厚度偏差会产生介质击穿的薄弱点，从而降低整个薄膜的可靠性；器件内单个微结构异常的“电流-电压”响应关系往往是器件失效的原因等等。

       安东帕Tosca系列原子力显微镜（AFM）以其优异的探测性能和简捷高时效的操作流程，受到广大用户的青睐，成为显微结构和物性分析的强大工具。Tosca在纳米级的三维成像及尺寸测量、粗糙度分析、微区组分分布信息探测、微区力学性质测试、纳米尺度电学特性测试、以及高分辨磁学分布特性分析等领域，都有着出色的表现。