8月17日，美国再次升级针对华为的禁令

       “基于美国软件和技术的产品不能用以制造或开发任何华为子公司（实体名单内）所生产、购买或订购的零部件、组件或设备中。”这意味着不但华为的麒麟芯片成为绝响，就连华为所需芯片的外购之路也被彻底堵死。此役，不管华为短时间内如何破局，长远来看，芯片制造必须完全自主化。

 

       电子级硝酸

 

       硝酸是芯片生产工艺中蚀刻环节非常重要的试剂，试剂中混杂的痕量氯离子会严重影响半导体器件的质量，因此，不同级别的硝酸试剂，对其无机离子尤其是氯离子、硫酸盐等有着严格的限量要求。目前针对电子级硝酸尚无国家标准，但是团体标准《电子工业用高纯硝酸》和《电子工业用高纯硝酸中痕量阴离子含量的测定  离子色谱法》已经完成了意见征集，以上标准中均采用离子色谱来检测硝酸中的痕量阴离子，离子色谱在保证电子级硝酸质量方面具有不可或缺的作用。

 

       瑞士万通离子色谱坚实耐用，整机由瑞士进口，取得“Swiss made”标识的使用资格（至少60%成本在瑞士，赋予产品基本特征的阶段也必须在瑞士进行），十分适合硝酸中阴离子的检测。

 

       对于硝酸这种高浓度基体试剂，一般色谱柱容量难以满足测试需求，因此需要其进行稀释或采用阀切换的方式进行检测。 

 

       稀释进样

 

       本次实验样品为20%~35%的硝酸，将其稀释100倍后进样。

 

       采用Metrosep A Supp 16-250/4.0分离柱

       淋洗液：10.0mM Na2CO3+4.0mM NaHCO3的超纯水溶液为淋洗液，进样体积1.5μL，流速0.6mL/min，柱温控制在20℃~25℃

       硝酸根在待测阴离子之后出峰，确保色谱峰的分离。

 

       阀切换

 

       本方案采用两套离子色谱系统，第一套离子色谱系统对样品进行预分离，样品经过检测器后进入第二套离子色谱系统装有预浓缩柱的进样阀，通过第一套离子色谱系统的检测器观察，在待测离子出峰的时间段将第二套离子色谱进样阀切换至预浓缩柱，如此，第二套离子色谱即可只针对待测离子进行分析，避免浓硝酸基体的干扰。

 

       系统1●●

 

       采用Metrosep A Supp 16-250分离柱

       淋洗液：100mM NaOH的超纯水溶液，进样体积20μL，流速0.8mL/min，柱温控制在25℃

 

       系统2●●

 

       采用Metrosep A Supp 5-250分离柱

       淋洗液：3.2mM Na2CO3+1.0mM NaHCO3的超纯水溶液，流速0.7mL/min，柱温控制在25℃，预浓缩柱进样