用芯制造，安全有谱

 

应用于半导体等高科技制造领域   

 

搭载多种原理的智能传感器组件 

 

可检测40多种低浓度有毒有害气体

 

 

2016年起，国内开始积极投资建设晶圆厂，陆续掀起建厂热潮。2020年~2022年是国内晶圆厂投产高峰期，未来3年将迎来密集投产。

 

其中电子特气作为半导体行业生产制造过程中不可或缺的关键性化工材料，从芯片生长到器件封装，几乎每一个环节都离不开电子特气。常见的有SiH4、PH3、AsH3等，核心工段常见的有40余种，总计100多种。电子特气虽是半导体行业的“血液”，但它的危害也非常多，包括毒性、自燃性等。一方面，这些特殊气体对人体有害，另一方面，易燃易爆气体的泄漏易引发火灾爆炸事故。

 

为防止电子特气在正常状况下的微量泄漏或在特殊紧急状况下的大量泄漏，造成难以弥补的生命财产损失，在使用、存储时，必须采取适当的安全对策，对这些危险性气体加以监控，以期将灾害程度降至最低。

 

 

在现今半导体工业中，特气检测仪已成为必备的环境监控仪器，但是目前国内大部分的晶圆厂使用的都是进口产品。谱育科技致力于实现科学仪器“中国梦”，解决“卡脖子”问题，自主研发推出了GDM-2100  Series特气检测仪。

 

 

GDM-2100 Series是一款专门针对半导体行业用户设计的特气检测仪，其具有高可靠性和高灵敏度的特点，采用先进的smart sensor传感技术，支持多种数据传输模式。

 

 

※ 兼容性设计

 

检测仪主体采用通用化设计，可兼容EC、NDIR、Catalytic等多种检测原理的智能传感器模组，让特气检测仪主机实现了通用化，节约了购机成本。

 

※ 智能传感器技术

 

智能传感器模组自带核心处理器，支持离线校准，校准后不需要任何设置即插即用，提高了日常维保效率。

 

※ 供电通讯方式多样化

 

① 支持24V直流供电，输出通用的模拟仪表信号（4-20mA信号），构建通用型的气体报警监控系统Gas detector System。

 

② 支持POE HUB供电，使用LAN网线给检测仪提供电源，大幅削减施工成本。输出modbus/TCP数字信号，可通过 web浏览器获取检测仪的运行情况。

 

※ 显示屏清晰易见

 

彩色TFT液晶显示模块， 高亮LED和直观图标显示，显示屏自定义区域可自由设置仪器位号或IP地址等信息，无须粘贴纸质标识，既美观又节约成本 。