水质检测是离子色谱应用最广泛的一个领域，无论是饮用水、矿泉水还是地表水、再生水，其质量的的评价总是少不了离子色谱的身影。离子色谱可以用来检测水质中的阴阳离子、有机酸、消毒副产物和草甘膦等多种物质。那么离子色谱在芯片制造的用水中又是做什么的呢？ 

 

       电子级水顾名思义为电子产业专用的水，一般用于电子和半导体行业的冲洗。它有什么特点呢？就一个字，纯！因为水的纯度直接关系到器件的性能、可靠性、阈值电压，纯度不够会导致低击穿，产生缺陷，还影响材料的寿命，因此电子级水要求具有相当高的纯度和精度。  

 

       根据GB/T 11446.1《电子级水》的要求，电子级水分为Ⅰ级、Ⅱ级、Ⅲ级、Ⅳ级和Ⅴ级，其中Ⅰ级水要求电阻率≥18MΩ·cm，这基本已经接近理论极限18.181818MΩ·cm，因此水中会产生电导率的离子必须尽可能的少，按照该标准要求Ⅰ级水中氟离子、氯离子、亚硝酸根、溴离子、硝酸根、磷酸根、硫酸根的含量均不得超过1μg/L。   

 

       同时标准中还规定，氟离子、氯离子、亚硝酸根、溴离子、硝酸根、磷酸根、硫酸根的含量检测按照GB/T 11446.7《电子级水中痕量阴离子的离子色谱测试方法》进行。瑞士万通智能离子色谱系统完全符合该标准，充分满足进行电子级水中痕量阴离子检测的各项需求。 

 

       由于GB/T 11446.1《电子级水》中对各阴离子的限值为1μg/L。按照惯例，离子色谱必须将检出限降到0.1μg/L以下才行，对于超低浓度的样品有的时候我们还需要预浓缩技术的帮助。 

 

       瑞士万通英蓝预浓缩技术是瑞士万通英蓝样品前处理技术的一种。如视频所示，英蓝预浓缩技术可以将大体积的样品流经预浓缩柱，使待测离子在预浓缩柱上富集，然后使用淋洗液反向冲洗预浓缩柱，将富集到预浓缩柱的待测离子带入色谱柱进行分离，此时进样体积不再受定量环的限制，而是由加液精度为1/10000的Dosino加液单元控制，进样体积最高可达20mL，检出限低至ng/L，同时由于待测物是附着在预浓缩柱上，没有溶剂的影响，可以有效避免大体积进样带来的峰展宽，可以说英蓝预浓缩技术是痕量离子分析不可或缺的好帮手。