瑞士万通：电子级磷酸
电子级磷酸属于高纯磷酸，是电子行业广泛使用的一种超高纯化学试剂，主要用于芯片的湿法清洗和湿法蚀刻，包括基片涂胶前的清洗，光刻过程中的蚀刻及最终去胶以及硅片本身制作过程中的清洗和绝缘膜蚀刻、半导体膜蚀刻、导体膜蚀刻、有机材料蚀刻等。
随着芯片制程的不断变小，芯片生产工艺对磷酸质量要求越来越高，生产难度也越来越大。根据网络信息显示，此前电子级磷酸只有美国、德国、日本、韩国等少数几个国家可以生产，直到去年才有国内厂家取得技术突破，可以自行生产电子级磷酸，并将之出口到三星等国际知名芯片制造厂商。
其实早在2011年12月30日，全国半导体设备和材料标准化技术委员会就发布了国家标准GB/T28159-2011《电子级磷酸》，其中将电子级磷酸分为E1普通电子级磷酸和E2高纯电子级磷酸，并分别对其中阴阳离子和金属含量做了要求。
瑞士万通离子色谱整机由瑞士进口，坚实可靠，可以对电子级磷酸中硝酸根、硫酸根和氯离子等阴离子以及部分阳离子进行分析，确保磷酸的产品质量。
二维离子色谱测定
浓磷酸中的痕量阴离子在进行痕量分析时，高浓度的磷酸会对其它离子的分析造成干扰，需要采用二维离子色谱对其进行分析。样品首先通过第一根色谱柱进行预分离，待测离子与磷酸分开，然后样品进入第二个六通阀，通过切换六通阀，待测离子在预浓缩柱富集随后进入第二根色谱柱进行再次分离，而磷酸则直接排入废液。
经过切换，最终进入第二根色谱柱的样品中磷酸根离子已经浓度大大降低，可以对其进行正常分离，从而达到检测痕量阴离子的目的。
预分离色谱柱：Metrosep Organic Acids 250
预分离淋洗液：超纯水，预分离淋洗液
流速：0.5mL/min
色谱柱：Metrosep A Supp5-250
淋洗液：2.8mmol/L碳酸钠+5.0mmol/L氢氧化钠
流速：0.7mL/min
定量环：200μL
检测器：电导检测器
磷酸中的镁、钙和铁
对于杂质含量较高的磷酸样品，也可直接稀释后进样。如下图，将样品稀释1000倍后可以直接进样对其中的镁、钙、铁进行检测。
色谱柱：Metrosep C4-150
淋洗液：5mmol/L酒石酸+0.09mmol/L吡啶二羧酸+2mmol/L抗坏血酸
流速：0.9mL/min
定量环：100μL
检测器：电导检测器
紫外法检测
磷酸中的痕量硝酸根
对于磷酸中的硝酸根，由于其具有紫外吸收，还可以采用紫外检测器对其进行检测，将样品稀释50倍后进样，最低检测浓度可以达5ppb。
色谱柱：Metrosep Dual 3
紫外波长：215nm
淋洗液：300mmol/L磷酸
流速：1mL/min
定量环：1000μL
电子级试剂是芯片制造过程中十分重要的原材料。瑞士万通离子色谱可以对多种电子级试剂的纯度进行检测，为芯片的产品质量和成品率提供保障。
(责任编辑：金利仪器lyh)
